微流控器件最主要的加工方法是來自于微電子行業的光刻技術和來自于表面圖案化的軟光刻技術。在上述兩種技術的基礎上,為了制作完整的微流控微通道,一般還需要對兩片材料進行鍵合。玻璃和硅片等材料通過高溫、高壓或高電壓等方法鍵合,而PDMS材料通過氧等離子處理進行鍵合。 微流控芯片采用類似半導體的微機電加工技術在芯片上構建微流路系統,將實驗與分析過程轉載到由彼此聯系的路徑和液相小室組成的芯片結構上,加載生物樣品和反應液后,采用微機械泵、電水力泵和電滲流等方法驅動芯片中緩沖液的流動,形成微流路,于芯片上進行一種或連續多種的反應。 瀚宸提供微流控器件、微流控芯片加工定制服務。
PDMS器件 | ·微米級別線寬,采用高精度模具 |
硅流道器件 | ·納米級別線寬,可控精度±5%以內,流道最大深寬比可達20:1 |
玻璃流道器件 | ·微米級別深度,可控精度±10%,深寬比可達1:2 |